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[发明专利]研磨装置-CN201811254519.7有效
发明人：杨俊铖;王先彬 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2018-10-26 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种研磨装置，包括：研磨平台；研磨垫，位于研磨平台上；研磨液输出结构，位于研磨垫上方，用于将研磨液输出置研磨垫上；以及研磨头，位于研磨垫上方，用于固定待研磨产品，并使待研磨产品与研磨垫接触，研磨装置还包括清除装置，与研磨液输出结构相连，位于研磨垫上方，用于提供移除使用后的研磨液的气流。本发明解决了由于使用后的研磨液稀释了初始研磨液的浓度造成的研磨速率降低的问题，达到了防止被使用后的研磨液与初始的研磨液混合的技术效果。
研磨装置

[发明专利]研磨装置-CN201910710868.3在审
发明人：吉田博;福岛诚;安田穗积 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明公开一种能够对晶片等基板执行多层研磨的研磨装置。研磨装置具有：分别用于支撑研磨垫的多个研磨台；将基板按压到研磨垫的多个研磨头；以及将基板输送到多个研磨头中的至少两个研磨头的输送装置。多个研磨头具有彼此不同的构造。
研磨头研磨装置研磨垫多层研磨基板按压基板输送输送装置研磨台基板晶片支撑

[发明专利]研磨装置-CN98107043.4无效
发明人：上野久史 -专利权人：日本电气株式会社
申请日： 1998-02-17 - 公布日： 2002-02-06 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种研磨装置，它能够稳定诸如用于制造半导体装置的薄片等的研磨物体周边部分的研磨速度。该研磨装置通过将研磨物体与旋转研磨台上的砂布相对设置并在研磨块上施加负载以及供给研磨液来进行研磨。还设有一个环绕给定厚度的弹性缓冲板的环状卡环，所述缓冲板位于研磨物体固定块和研磨体之间，使得研磨物体和研磨板之间的接触压力均匀，从而使得研磨物体的研磨速度恒定。$#!
研磨装置

[实用新型]研磨装置-CN201320224010.4有效
发明人：小滨达也;小畠严贵;野村季和;木村宪雄;川岛清隆 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2013-04-27 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本实用新型提供的研磨装置，能够均匀且高效地对研磨对象物的被研磨面供给研磨液。研磨装置具备：具有研磨面（52）的研磨工作台（22）；保持半导体晶片（W）并将半导体晶片（W）按压于研磨面（52）的顶环（24）。另外，研磨装置还具备：对研磨面（52）供给研磨液（Q）的研磨液供给口（57）；以及移动机构，该移动机构使研磨液供给口（57）移动，以使研磨液（Q）因半导体晶片（W）与研磨面（52）之间的相对移动而均匀地遍布半导体晶片
研磨装置

[发明专利]研磨装置-CN202080050372.9在审
发明人： W·安讷斯托尔;C·沃尔 -专利权人：施塔克卤德有限公司及两合公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： B24B21/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种研磨装置，所述研磨装置具有可驱动的衬垫(2)和柔性研磨元件(3)，所述柔性研磨元件通过抽吸保持在所述衬垫(2)上并设有研磨颗粒。根据本发明的所述研磨装置设计成使得研磨带形式的所述研磨元件(3)相对于所述衬垫(2)周向伸出，所述研磨颗粒覆盖所述研磨元件(3)的整个区域。
研磨装置

[实用新型]研磨装置-CN201821997440.9有效
发明人：韩斌;辛君;林宗贤;吴龙江 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种研磨装置，包括：研磨头结构；以及抽气装置，设置于研磨头结构上方，以除去研磨头结构上的污染物。本实用新型的研磨装置，通过抽气装置的设置，除去研磨头等结构上的颗粒等污染物，从而防止上述污染物掉落到研磨晶圆上，防止污染物对晶圆研磨效果的影响，改善颗粒散落风险，提升研磨效果，减少了晶圆因此而造成报废的情况，同时，对抽气装置进行改进，可移动的排气腔室有利于研磨装置的研磨头结构的更换。
研磨装置研磨研磨头抽气装置污染物晶圆本实用新型排气腔室可移动掉落散落报废改进

[实用新型]研磨装置-CN201320555435.3有效
发明人：张勇;程乐;潘文欢;李启沅;刘小盼 -专利权人：深圳华大基因研究院
申请日： 2013-09-06 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： B02C19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种研磨装置，研磨装置用于插置于一离心管中以对离心管中的样品实施研磨，研磨装置包括研磨棒和把手，研磨棒和把手连接，其中：研磨棒包括柄部、中部和研磨头，中部的一端与柄部连接，中部的另一端与研磨头连接，研磨头的形状和大小与离心管相匹配；把手与研磨棒的柄部相匹配连接。通过上述方式，本实用新型的研磨操作简单，能够在研磨样品时减少样品的丢失，有效提高研磨效率。
研磨装置

[实用新型]研磨装置-CN200420084351.7无效
发明人：叶智斌;陈文政;庄青锦 -专利权人：碧悠国际光电股份有限公司
申请日： 2004-08-06 - 公布日： 2005-09-14 - 主分类号： B24B9/08 文献下载
摘要：一种研磨装置，它包含有一挟持装置、一旋转座及一研磨部件；挟持装置吸附挟持同心圆玻璃基板；研磨部件设置于一旋转座上，表面设置有多数个研磨颗粒。研磨部件并具有一水平圆形截面，使多数个研磨颗粒沿圆周分布，研磨部件随着旋转座旋转而转动，挟持装置配合研磨部件相对移动，以使研磨部件的多数个圆周分布的研磨颗粒接触，并研磨同心圆玻璃基板的圆边。
研磨装置

[发明专利]研磨装置-CN90103952.7无效
发明人：陈吉祥 -专利权人：陈吉祥
申请日： 1990-05-26 - 公布日： 1994-06-29 - 主分类号： B02C2/00 文献下载
摘要：本发明提供一种研磨装置，乃于机架上设置有动力装置及磨盘装置等，其中该磨盘装置主要以两纵向斜面组合之内，外研磨筒所组成，藉该两研磨筒之以相互环抱贴触研磨面之设置而增加其研磨面积，且外研磨筒并以重力方式压触设置，使当该内研磨筒转动进行研磨时，将具有良好之研磨功效，深具有产业上之利用价值。
研磨装置

[发明专利]研磨装置-CN201910280462.6有效
发明人：井上雄贵;铃木孝雅 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：提供研磨装置，一边抑制浆料提供量，一边使浆料遍布研磨垫的整个研磨面，从而实现抑制了浆料消耗的经济的研磨加工。研磨装置包含：晶片保持工作台；研磨单元，其将研磨垫安装于主轴而使该研磨垫进行旋转，该研磨垫在对晶片进行研磨的研磨面的中心具有开口；对研磨垫的研磨面提供浆料的单元；以及将贯通研磨垫和主轴的旋转轴心的贯通路的上端封闭而对贯通路内提供空气的单元，该研磨装置对通过使保持工作台所保持的晶片上表面与研磨垫的研磨面接触而将研磨垫的开口封住的晶片上表面喷射空气提供单元所提供的空气，通过在研磨面方向上从开口朝向外周的放射状的空气的流动而使浆料遍布整个研磨面，从而对晶片进行研磨。
研磨装置

[实用新型]研磨装置-CN201120465096.0有效
发明人：陈枫 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-11-21 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本实用新型的研磨装置包括晶圆吸附器、研磨垫吸附器、条形研磨垫和研磨液供应器；所述晶圆吸附器吸附待研磨晶圆，并使所述待研磨晶圆的待研磨面朝上；所述研磨垫吸附器吸附所述条形研磨垫，并将所述条形研磨垫压在所述待研磨晶圆的待研磨面上；所述研磨液供应器向所述待研磨晶圆的待研磨面喷射研磨液。本实用新型的研磨装置成本低、研磨效果均一，特别适用于大尺寸晶圆。
研磨装置

[发明专利]研磨装置-CN201811503121.2在审
发明人：赵胜飞 -专利权人：深圳市双盈电子科技有限公司
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： A47J42/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种研磨装置，所述研磨装置包括主体和罩子，主体包括底座、设置于底座的插头、驱动装置、研磨件，所述研磨件设置于所述底座的顶部，所述罩子罩设于所述底座以罩盖所述研磨件，所述驱动装置设置于所述底座内，所述插头与所述驱动装置电连接，所述插头用于与电子设备的电源插孔插接以使电子设备提供驱动电压给所述驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述研磨件旋转进行研磨。本发明缩小了研磨机的体积，能够研磨少分量的香料。且研磨机的可由移动终端直接供电，无需安装另外的电源装置，方便使用，同时便于携带。
驱动装置底座研磨件研磨装置插头罩子研磨研磨机电子设备提供便于携带电源插孔电源装置电子设备驱动电压移动终端直接供电电连接插接罩盖罩设香料驱动

[实用新型]研磨装置-CN201822063628.2有效
发明人：赵胜飞 -专利权人：深圳市双盈电子科技有限公司
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： A47J42/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种研磨装置，所述研磨装置包括主体和罩子，主体包括底座、设置于底座的插头、驱动装置、研磨件，所述研磨件设置于所述底座的顶部，所述罩子罩设于所述底座以罩盖所述研磨件，所述驱动装置设置于所述底座内，所述插头与所述驱动装置电连接，所述插头用于与电子设备的电源插孔插接以使电子设备提供驱动电压给所述驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述研磨件旋转进行研磨。本实用新型缩小了研磨机的体积，能够研磨少分量的香料。且研磨机的可由移动终端直接供电，无需安装另外的电源装置，方便使用，同时便于携带。
研磨装置

[实用新型]研磨装置-CN201821618693.0有效
发明人：邵晨宇 -专利权人：盐城市大丰澳滨铸造有限公司
申请日： 2018-10-05 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： B02C7/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种研磨装置。本实用新型包括安装座，所述的安装座上设置有固定研磨盘，所述固定研磨盘上方设置有活动研磨盘，所述活动研磨盘连接能够驱动活动研磨盘沿轴心转动的驱动装置，所述活动研磨盘的轴心设置有下料通道，所述活动研磨盘上方对应所述下料通道的位置设置有给料装置，所述固定研磨盘上对应所述下料通道的位置设置有分配锥，所述固定研磨盘和所述活动研磨盘相对的一面分别设置有研磨槽，所述的固定研磨盘和所述活动研磨盘相对的一面为从中心向下倾斜的锥面，其倾斜角度与水平面的夹角为3‑8°，所述固定研磨槽下方设置有粉料收集装置。本实用新型不需要使用研磨介质，设备整体结构简单，操作方便。
研磨盘固定研磨盘本实用新型下料通道研磨装置安装座研磨槽粉料收集装置设备整体结构锥面给料装置驱动装置向下倾斜研磨介质轴心转动分配锥夹角为驱动

[实用新型]研磨装置-CN201320023006.1有效
发明人：前田将克 -专利权人：苏州住友电木有限公司
申请日： 2013-01-16 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：一种研磨装置，具有：研磨部件（9），具有研磨被研磨物（4）的平坦研磨面（10）；保持部（2），所述保持部（2）具有朝所述研磨面（10）且向下开口的收容部（6），所述收容部（6）中，在保持所述被研磨物（4）的同时通过自重将所述被研磨物（4）按压到所述研磨面（10）；以及移动机构（3），通过使所述保持部（2）和所述研磨部件（9）在所述研磨面（10）的面方向上相对移动使所述研磨部件（9）研磨所述被研磨物（4根据本实用新型的研磨装置，能够抑制被研磨物的研磨量的误差。
研磨装置

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